کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
5354749 1388180 2012 6 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Al-Cu intermetallic coatings processed by sequential metalorganic chemical vapour deposition and post-deposition annealing
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه شیمی شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Al-Cu intermetallic coatings processed by sequential metalorganic chemical vapour deposition and post-deposition annealing
چکیده انگلیسی
► Sequential MOCVD of Al and Cu metals. ► Process feasibility ensured by appropriate selection of Al and Cu MOCVD precursors. ► Al/Cu ratio and annealing temperature drives the nature of Al-Cu phases. ► In situ monitored post deposition annealing allows formation of targeted Al-Cu phases.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 258, Issue 17, 15 June 2012, Pages 6425-6430
نویسندگان
, , , , , , , ,