کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5356478 | 1388204 | 2011 | 7 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Investigation of chemical mechanical polishing of zinc oxide thin films
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
⺠Highly smooth zinc oxide thin films were demonstrated. ⺠Chemical mechanical polishing process for zinc oxide was developed. ⺠Chemical and mechanical aspect of CMP process synergistically work to demonstrate high removal rates with high surface finish. ⺠Modified Preston's equation was proposed.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 257, Issue 13, 15 April 2011, Pages 5837-5843
Journal: Applied Surface Science - Volume 257, Issue 13, 15 April 2011, Pages 5837-5843
نویسندگان
Sushant Gupta, Purushottam Kumar, A. Arul Chakkaravathi, Doina Craciun, Rajiv K. Singh,