کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
5358650 1388235 2011 6 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Deposition of tungsten nitride thin films by plasma focus device at different axial and angular positions
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه شیمی شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Deposition of tungsten nitride thin films by plasma focus device at different axial and angular positions
چکیده انگلیسی
► Tungsten nitride thin films deposited on the stainless steel-304 substrates, using a low energy plasma focus device. ► Effects of distance from anode tip investigated at three different angular positions with respect to anode axis (0°, 10° and 30°). ► Structural properties of deposited films analyzed using XRD spectra. ► Micro-structure, surface morphology and hardness of the films analyzed using SEM and AFM images and micro-hardness measurements.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 257, Issue 17, 15 June 2011, Pages 7653-7658
نویسندگان
, , , , ,