کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
5359018 1503675 2014 5 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Etching of CVD diamond films using oxygen ions in ECR plasma
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه شیمی شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Etching of CVD diamond films using oxygen ions in ECR plasma
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 289, 15 January 2014, Pages 533-537
نویسندگان
, , , , , ,