کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5360104 | 1503687 | 2013 | 7 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Influence of non-Gaussian roughness on sputter depth profiles
ترجمه فارسی عنوان
اثر ناهمگونی غیر گاوس در پروفیل عمق آبشستگی
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی تئوریک و عملی
چکیده انگلیسی
- The MRI model is extended for the non-Gaussian roughness distribution.
- The deviations between the simulated sputter depth profiles with Gaussian and non-Gaussian roughness distributions are evaluated quantitatively.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 276, 1 July 2013, Pages 447-453
Journal: Applied Surface Science - Volume 276, 1 July 2013, Pages 447-453
نویسندگان
Y. Liu, W. Jian, J.Y. Wang, S. Hofmann, J. Kovac,