کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5360251 | 1503688 | 2013 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Analysis of amorphous-nanocrystalline silicon thin films by time-of-flight elastic recoil detection analysis and high-resolution electron microscopy
ترجمه فارسی عنوان
تجزیه و تحلیل فیلم های نازک سیلیکون آمورف-نانوکریستالیک با استفاده از تحلیل زمان کشش کششی الاستیسیته و میکروسکوپ الکترونی با وضوح بالا
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی تئوریک و عملی
چکیده انگلیسی
⺠Amorphous-nanocrystalline silicon thin films were prepared by PECVD. ⺠Silicon nanocrystalls embeded in amorphous silicon matrix. ⺠The in-depth distribution of hydrogen atoms was estimated by TOF-ERDA. ⺠Non uniform distribution of hydrogen across the depth with maximum close to a-Si:H/a-nc-Si:H interface.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 275, 15 June 2013, Pages 19-22
Journal: Applied Surface Science - Volume 275, 15 June 2013, Pages 19-22
نویسندگان
D. Gracin, Z. SiketiÄ, K. JuraiÄ, M. Äeh,