کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5360264 | 1503688 | 2013 | 8 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Surface plasmon resonance as an innovative method for filling defects monitoring in nanoimprint lithography
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
⺠Surface plasmon resonance is used to estimate filling defects in nano-imprint lithography. ⺠A novel mold structure is designed and fabricated for estimating filling defects. ⺠Both simulation and experiment demonstrate the feasibility of the proposed method.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 275, 15 June 2013, Pages 94-101
Journal: Applied Surface Science - Volume 275, 15 June 2013, Pages 94-101
نویسندگان
Wei-Hsuan Hsu, Hong Hocheng, Jow-Tsong Shy,