کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5363852 | 1503697 | 2013 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Key technique for texturing a uniform pyramid structure with a layer of silicon nitride on monocrystalline silicon wafer
ترجمه فارسی عنوان
روش کلیدی برای ساخت یک ساختار هرم یکپارچه با یک لایه نیترید سیلیکون بر روی ویفر سیلیکون تک کریستالی
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی تئوریک و عملی
چکیده انگلیسی
⺠A new approach for texturing uniform pyramid structures using silicon nitride. ⺠Silicon nitride of varying thicknesses, resulting in various pyramid structures. ⺠Uniform and higher surface coverage of pyramids possess the lower average reflectivity.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 266, 1 February 2013, Pages 245-249
Journal: Applied Surface Science - Volume 266, 1 February 2013, Pages 245-249
نویسندگان
Bohr-Ran Huang, Ying-Kan Yang, Wen-Luh Yang,