کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
5363882 1503697 2013 5 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Effects of power on properties of ZnO thin films grown by radio frequency magnetron sputtering
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه شیمی شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Effects of power on properties of ZnO thin films grown by radio frequency magnetron sputtering
چکیده انگلیسی
► The RF power play an important role in ZnO films during the growth process. ► Films deposited at 150 W showed the best crystalline and optical properties. ► The mechanism can be explained by a qualitative model and dynamics equations.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 266, 1 February 2013, Pages 440-444
نویسندگان
, , , , , , , ,