کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5364605 | 1388318 | 2008 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Fabrication of PECVD-grown fluorinated hydrocarbon nanoparticles and circular nanoring arrays using nanosphere lithography
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: Fabrication of PECVD-grown fluorinated hydrocarbon nanoparticles and circular nanoring arrays using nanosphere lithography Fabrication of PECVD-grown fluorinated hydrocarbon nanoparticles and circular nanoring arrays using nanosphere lithography](/preview/png/5364605.png)
چکیده انگلیسی
Nanosphere lithography (NSL) masks were created by spin-coating of polystyrene particles onto silicon surfaces. Fluorinated hydrocarbon films were coated on the nanosphere lithography masks using plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) to obtain ordered arrays of fluorinated hydrocarbon. Atomic force microscope images show hexagonally ordered nanodots of dimension 225 ± 11 nm with a height of 23 ± 4 nm. Every hexagon encloses a circular ring of diameter 540 ± 24 nm having a height and width of 13.5 ± 0.6 nm and 203 ± 16 nm, respectively. FTIR analysis shows two distinct zones of atomic bonding of CHx and CFx in the plasma coated ordered fluorinated hydrocarbon films.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 254, Issue 13, 30 April 2008, Pages 3758-3761
Journal: Applied Surface Science - Volume 254, Issue 13, 30 April 2008, Pages 3758-3761
نویسندگان
D.K. Sarkar, M. Farzaneh,