کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
5366733 1388354 2007 4 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
A new film analysis method using polycapillary X-ray lens
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه شیمی شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
A new film analysis method using polycapillary X-ray lens
چکیده انگلیسی

Grazing emission X-ray fluorescence (GE-XRF) is a development of XRF related to total reflection XRF. This paper proposed a GE-MXRF setup involved a polycapillary X-ray lens. Polycapillary lens is an effective optics to obtain μm-size primary X-ray beam. Using this proposed setup, we applied it to the analysis of film samples, and the information of film thickness, composition and density can be acquired, which is very useful in semiconductor industry.

ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 253, Issue 20, 15 August 2007, Pages 8352-8355
نویسندگان
, , ,