کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5424518 | 1395827 | 2008 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Submicron gold structures formed by atomic force microscopy lithography on thin films of poly(methyl methacrylate)
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله

چکیده انگلیسی
Thin films of poly(methyl methacrylate) (PMMA) (25Â nm) deposited on gold coated glass substrates have been locally modified by exposure to biased atomic force microscopy (AFM) tips. Constant exposure currents in the range of 0.5-0.65Â nA leads to removal of PMMA both by direct ablation and enhanced solubility in a developer solution. Possible mechanisms causing such modifications have been discussed. Submicron Au structures were formed by combining AFM lithography, involving localized removal of PMMA, with sputter deposition of gold and a lift-off process.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Surface Science - Volume 602, Issue 18, 15 September 2008, Pages 3051-3056
Journal: Surface Science - Volume 602, Issue 18, 15 September 2008, Pages 3051-3056
نویسندگان
Kjell Ove Kongshaug, Helge Steen,