کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
542650 871564 2007 4 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
New application of polyimide in uncooled a-Si TFT infrared sensors
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
New application of polyimide in uncooled a-Si TFT infrared sensors
چکیده انگلیسی

New application of polyimide (PI) is introduced in this paper. PI film of 27 μm is achieved, and the excellent thermal-isolation performance of the film is simulated by ANSYS. The surface of film is flat, which is suitable for the fabrication of other materials such as aluminum and silicon nitride. The PI film is used as thermal-isolation layer of uncooled a-Si thin film transistor infrared sensors in this research, and the fabrication process is greatly simplified.

ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronics Journal - Volume 38, Issue 2, February 2007, Pages 278–281
نویسندگان
, , ,