Effects of grinding parameters on surface quality in silicon nitride grinding

برای تشخیص اثرات پارامترهای سنگزنی بر روی کیفیت سطح زمین نیترید سیلیکون سنگ زنی برای هدایت پردازش برای بهبود دقت پردازش و بهره وری، آزمایش های متعامد بر روی سنگ زنی نیترید سیلیکون توسط یک چرخ سنگ زنی الماس انجام می شود و اثرات به طور سیستماتیک مورد مطالعه قرار می گیرد. تأثیر پارامترهای سنگ زنی مانند اندازه دانه، سرعت چرخ، سرعت قطعه کار و عمق سنگ زنی، با توجه به اثرات آن بر نیروی سنگ زنی، مورفولوژی سطح، آسیب سطحی و آسیب های زیر زمین مورد بررسی قرار می گیرد. ضخامت تراشه نامنظم و ضخامت چیپ معادل آن برای بررسی جامع کیفیت کره زمین مورد بررسی قرار گرفته است. با توجه به این مطالعه، با بهینه سازی پارامترهای سنگ زنی کیفیت و کارایی سنگ زنی نیترید سیلیکون می تواند بهبود یابد.