کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
5449160 1512518 2017 6 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Imaging properties of an extreme ultraviolet microscope objective with reduced Fresnel number
ترجمه فارسی عنوان
خواص تصویربرداری از یک هدف میکروسکوپ فوق العاده ماوراء بنفش با کاهش تعداد فرنکل
کلمات کلیدی
ترجمه چکیده
در تصویربرداری برای میکروسکوپ فوق العاده افراطی کامل در میدان کامل، تعداد فرنل در هواپیما تصویر کمتر ازحدیت است زیرا یک هدف بزرگ بزرگ به طور قابل توجهی دیافراگم عددی را در سطح تصویر کاهش می دهد، در حالی که تعداد فرنل در هواپیما در اکثر موارد نسبتا بزرگ است. برای فهمیدن تصویربرداری با هدف بزرگنمایی با تعداد فرلنهای بسیار متفاوت در این دو هواپیما، در این مطالعه ما خواص تصویربرداری را با مشاهده تصاویر با تمرکز فوکوس از یک شیء نقطه در هر دو طرف شی و تصویر، تایید کردیم. آزمایشات نشان داد که ویژگی های نقص در سمت تصویر، با توجه به مکان آشکارساز، نامتقارن هستند، در حالیکه آنهایی که در طرف چهره هستند نسبت به فاصله جسم متقارن هستند. برای توضیح این خواص تصویربرداری غیر متعارف، ما یک مدل تحلیلی ساده با توجه به دو عدد مختلف فرنل در هدف بزرگ مقیاس پیشنهاد کردیم. این مدل نشان داد که بزرگنمایی حتی اگر سطح تصویر در عمق کانونی قرار داشته باشد، تغییر می کند و این ویژگی های نامتقارن را در اختیار می گذارد. در همان زمان، هنگامی که یک جسم را در امتداد یک محور نوری جابجا کردیم، انحرافات فوکوس با معادله متعارف برای یک سیستم بزرگ فرسلل نشان داده می شود که می تواند ویژگی های متفاوتی از نقص در سمت ابژه را توضیح دهد. ما همچنین در مورد اثر یک عامل فاز اضافی که دامنه در سطح تصویر را تغییر می دهد بحث می کنیم.
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد مواد الکترونیکی، نوری و مغناطیسی
پیش نمایش مقاله
خواص تصویربرداری از یک هدف میکروسکوپ فوق العاده ماوراء بنفش با کاهش تعداد فرنکل
چکیده انگلیسی
On imaging for full-field extreme ultraviolet microscopy, the Fresnel number on the image plane falls below unity since a high magnification objective remarkably reduces the numerical aperture on the image plane, while the Fresnel number on the object plane is relatively large in most cases. To understand imaging with the high-magnification objective with far different Fresnel numbers on these two planes, in this study, we experimentally confirmed the imaging properties by observing through-focus images of a point object on both the object and image sides. The experiments showed that, the defocus characteristics on the image side were found to be asymmetric with respect to the detector location, while those on the object side were found to be symmetric with respect to the object distance. To explain these unconventional imaging properties, we proposed a simple analytical model considering the two different Fresnel numbers on the high-magnification objective. The model showed that the magnification would vary even if the image plane was within the focal depth, and this yields the asymmetric defocus characteristics. At the same time, when we moved an object along an optical axis, the defocus aberrations were represented by the conventional equation for a large-Fresnel-number system, which can well explain the symmetric defocus characteristics on the object side. We also discuss the effect of an additional phase factor that modifies the amplitude on the image plane.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Optics Communications - Volume 405, 15 December 2017, Pages 312-317
نویسندگان
, , ,