کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5449164 | 1512518 | 2017 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
TM grating coupler on low-loss LPCVD based Si3N4 waveguide platform
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
مواد الکترونیکی، نوری و مغناطیسی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: TM grating coupler on low-loss LPCVD based Si3N4 waveguide platform TM grating coupler on low-loss LPCVD based Si3N4 waveguide platform](/preview/png/5449164.png)
چکیده انگلیسی
We demonstrate, for the first time to our knowledge, a fully etched TM grating coupler for low-loss Low-Pressure-Chemical-Vapor-Deposition (LPCVD) based silicon nitride platform with a coupling loss of 6.5 dB at 1541 nm and a 1 dB bandwidth of 55 nm, addressing applications where TM polarization is a pre-requisite. The proposed GC and the 360 nm à 800 nm strip based Si3N4 waveguides have been fabricated by optical projection lithography using an i-line stepper tool enabling low-cost and mass manufacturing of photonic-integrated-circuits.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Optics Communications - Volume 405, 15 December 2017, Pages 35-38
Journal: Optics Communications - Volume 405, 15 December 2017, Pages 35-38
نویسندگان
G. Dabos, A. Manolis, A.L. Giesecke, C. Porschatis, B. Chmielak, T. Wahlbrink, N. Pleros, D. Tsiokos,