کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
5463840 1517191 2017 4 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Ultra-smooth e-beam evaporated amorphous silicon thin films - A viable alternative for PECVD amorphous silicon thin films for MEMS applications
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Ultra-smooth e-beam evaporated amorphous silicon thin films - A viable alternative for PECVD amorphous silicon thin films for MEMS applications
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Materials Letters - Volume 197, 15 June 2017, Pages 52-55
نویسندگان
, , ,