Atmospheric pressure non-equilibrium plasma jet technology: general features, specificities and applications in surface processing of materials

فشار جابجایی غیر جابجایی (سرد) جت پلاسما در طی دو دهه گذشته توجه زیادی به پردازش سطحی مواد داشته و هنوز هم برای جذب علاقه بیشتر رشد می کند. علاوه بر مزایای استفاده از فشار جوی، از قبیل کاهش هزینه بالقوه دستگاهها و همچنین دستیابی آسان و نگهداری آنها، به علت عملکرد متفاوتی از راه دور، جت های پلاسما امکان قرار دادن سوبسترا را در خارج از مرز منبع فراهم می کنند. در نتیجه، پردازش اشیاء سه بعدی پیچیده و ادغام به خطوط تولید موجود انتظار می رود بسیار ساده تر باشد. با این حال، در عین حال جذاب، تکنولوژی جت پلاسما نقطه ضعفی است که تلاش های زیادی برای بهینه سازی فرایند انجام می شود، چرا که بسیاری از عوامل می توانند به عنوان مثال، اثرات فیزیکی و شیمیایی پلاسمای به اصطلاح پلاسما تاثیر بگذارند. که از دستگاه ها پخش می شود و در فضای باز به سمت سوبسترا مورد استفاده قرار می گیرد. هدف از این مقاله ارائه یک مرور ادبی مهم در مورد استفاده از جت پلاسما غیر جابجایی فشار جو در پردازش سطحی مواد است. از آنجا که توصیف و طبقه بندی بسیاری از دستگاه های استفاده شده در این زمینه کاربردی تا کنون، توجه به برخی از جنبه های بسیار مهم است که باید در بهینه سازی روند مورد توجه قرار گیرد. بحث بر روی مفاهیم اساسی و ویژگی های مرتبط با عملکرد از راه دور منابع پلاسما، که شامل ویژگی ها و پویایی پلاسمایی پلاسما در تعامل با بستر و محیط اطراف آن است، متمرکز شده است. از آنجایی که روش جت پلاسما به تغییر سطح در مناطق کوچکی از نمونه در نمونه اجازه می دهد، راهبردهای اعمال شده برای بزرگ کردن منطقه تحت درمان نیز مورد توجه قرار می گیرند. سرانجام، یک مرور کلی از برنامه های در دسترس و تحولات اخیر در زمینه اچینگ، رسوب نازک فیلم و درمان ارائه خواهد شد.