کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5465278 | 1517573 | 2017 | 22 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Effect of scandium content on structure and piezoelectric properties of AlScN films deposited by reactive pulse magnetron sputtering
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: Effect of scandium content on structure and piezoelectric properties of AlScN films deposited by reactive pulse magnetron sputtering Effect of scandium content on structure and piezoelectric properties of AlScN films deposited by reactive pulse magnetron sputtering](/preview/png/5465278.png)
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Surface and Coatings Technology - Volume 309, 15 January 2017, Pages 417-422
Journal: Surface and Coatings Technology - Volume 309, 15 January 2017, Pages 417-422
نویسندگان
Olaf Zywitzki, Thomas Modes, Stephan Barth, Hagen Bartzsch, Peter Frach,