کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5465299 | 1517573 | 2017 | 9 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Growth of aluminum oxide thin films with enhanced film density by the integration of in situ flash annealing into low-temperature atomic layer deposition
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Surface and Coatings Technology - Volume 309, 15 January 2017, Pages 600-608
Journal: Surface and Coatings Technology - Volume 309, 15 January 2017, Pages 600-608
نویسندگان
Thomas Henke, Martin Knaut, Christoph Hossbach, Marion Geidel, Matthias Albert, Johann W. Bartha,