کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5467519 | 1518616 | 2017 | 9 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Mass and energy distribution of negatively and positively charged small cluster ions sputtered from GaAs(100) by 150Â keV Ar+ bombardment
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
سطوح، پوششها و فیلمها
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
Mass and energy distribution of positively and negatively charged small GaxAsy cluster ions consisting of up to six atoms sputtered from a GaAs(100) surface after 150Â keV Ar+ ion bombardment are reported. Positively charged ions contain a larger fraction of Ga atoms while negatively charged ions are rich in As. Measured energy distributions display a maximum at low kinetic energies of a few eV followed by a steep decrease with increasing energy which is more pronounced for larger ions.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms - Volume 407, 15 September 2017, Pages 132-140
Journal: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms - Volume 407, 15 September 2017, Pages 132-140
نویسندگان
E.J. Angelin, R. Hippler,