کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5468454 | 1518936 | 2016 | 20 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
The oxygen-deficient TiO2 films deposited by a dual magnetron sputtering
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
سطوح، پوششها و فیلمها
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
This paper describes the deposition of the oxygen-deficient TiO2 films by the dual magnetron sputtering with different magnetic field configurations. The XRD survey and calculations of optical band gap demonstrate that the TiO2 films are polycrystalline with a mixture of anatase and rutile phases and have a low content of unbound Ti atoms. SEM and AFM investigations result in a columnar structure of the TiO2 films in the case of the mirror magnetic field configuration sputtering. For the closed configuration magnetic field, more intense ion bombardment of the growing films leads to the films densification. Optical and photocatalytic properties of the TiO2 films are strongly depended on the magnetic field configuration and determined by the films structure. The obtained results are interesting to modify the deposition technology of low-e coatings and solar materials.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Vacuum - Volume 134, December 2016, Pages 29-32
Journal: Vacuum - Volume 134, December 2016, Pages 29-32
نویسندگان
Dmitrii V. Sidelev, Yury N. Yurjev, Valeriy P. Krivobokov, Evgenii V. Erofeev, Olga V. Penkova, Vadim A. Novikov,