کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
547987 | 872079 | 2008 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Design and fabrication of in-plane resonant microcantilevers
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی کامپیوتر
سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: Design and fabrication of in-plane resonant microcantilevers Design and fabrication of in-plane resonant microcantilevers](/preview/png/547987.png)
چکیده انگلیسی
An in-plane resonant bimetal microcantilever based on thermal actuation mechanism was developed utilizing the photolithography technique. The microcantilever structure consists of a platform, a long narrow anchor, and a U-shape actuation loop. Niobium and gold are used as materials for fabrication of the microcantilever. In the cantilever design the shortcoming of low actuation frequency was overcome by separating the thermal actuator part and the microcantilever part. According to the dynamic property tests, the in-plane resonant frequency of our microcantilevers is one order of magnitude higher than the out-of-plane one. With further optimizing the design, our microcantilevers may have applications as actuators and biosensors.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronics Journal - Volume 39, Issue 1, January 2008, Pages 44–48
Journal: Microelectronics Journal - Volume 39, Issue 1, January 2008, Pages 44–48
نویسندگان
Yuehua Wu, Grigory Panaitov, Yi Zhang, Norbert Klein,