کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
632040 883361 2006 4 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Ultrapure water: systems for microelectronics
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی شیمی تصفیه و جداسازی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Ultrapure water: systems for microelectronics
چکیده انگلیسی

Of all the potential sources of contamination in microelectronics manufacturing, water is the most significant – being necessary at different stages of the production process. John Hutcheson of Hutch2O looks at how this potential problem can be avoided.

ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Filtration & Separation - Volume 43, Issue 5, June 2006, Pages 22–25
نویسندگان
,