کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
703466 | 1460817 | 2008 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Unusual morphology of CVD diamond surfaces after RIE
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
سایر رشته های مهندسی
مهندسی برق و الکترونیک
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: Unusual morphology of CVD diamond surfaces after RIE Unusual morphology of CVD diamond surfaces after RIE](/preview/png/703466.png)
چکیده انگلیسی
Reactive ion etching of (100) CVD diamond films in O2 has been performed using a 13.56 MHz capacitively coupled reactor at pressures of 20 mTorr–100 mTorr and r.f. powers of 100 W–300 W. The formation of columnar structures was observed at the grain boundaries whereas the (100) facets were etched to yield a smooth surface under optimum conditions. For comparison, the RIE of single, isolated cubo-octahedral crystallites produced smooth (100) facets and roughened (111) surfaces reminiscent of the micro-columnar structures evident in the films.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Diamond and Related Materials - Volume 17, Issues 7–10, July–October 2008, Pages 1164–1168
Journal: Diamond and Related Materials - Volume 17, Issues 7–10, July–October 2008, Pages 1164–1168
نویسندگان
Maria D. Stoikou, Phillip John, John I.B. Wilson,