کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
7111070 1460750 2018 32 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Effect of unbonded hydrogen on amorphous carbon film deposited by PECVD with annealing treatment
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه سایر رشته های مهندسی مهندسی برق و الکترونیک
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Effect of unbonded hydrogen on amorphous carbon film deposited by PECVD with annealing treatment
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Diamond and Related Materials - Volume 81, January 2018, Pages 146-153
نویسندگان
, , , , , , ,