کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
7111329 1460768 2016 9 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Controlling the profile of high aspect ratio gratings in diamond
ترجمه فارسی عنوان
کنترل پروفیل نقاط نسبتا بزرگ در الماس
کلمات کلیدی
گریت، اکتیو یونی واکنشی الماس مصنوعی، پرتقال،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه سایر رشته های مهندسی مهندسی برق و الکترونیک
پیش نمایش مقاله
کنترل پروفیل نقاط نسبتا بزرگ در الماس
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Diamond and Related Materials - Volume 63, March 2016, Pages 60-68
نویسندگان
, , , ,