کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
7132591 | 1461719 | 2015 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
A new geometrical approach for rapid LED processing by using femtosecond laser
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
سایر رشته های مهندسی
مهندسی برق و الکترونیک
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: A new geometrical approach for rapid LED processing by using femtosecond laser A new geometrical approach for rapid LED processing by using femtosecond laser](/preview/png/7132591.png)
چکیده انگلیسی
A new original method to reduce time and resource consuming photolithography mask production operations has been suggested. By means of femtosecond laser direct writing, thus, gaining cleaner surrounding than for nano- and pico-second pulse processing, a 45° angle ablation geometry has been proven. LED chip separation trenches and n-GaN layer exposure were made simultaneously saving from one fundamental processing and alignment step without adverse effect from the laser-processing on the quantum well region.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Optics and Lasers in Engineering - Volume 74, November 2015, Pages 17-21
Journal: Optics and Lasers in Engineering - Volume 74, November 2015, Pages 17-21
نویسندگان
I. Reklaitis, T. Grinys, R. TomaÅ¡iÅ«nas, T. PuodžiÅ«nas, L. MažulÄ, V. Sirutkaitis, C.H. Lin, C.C. Yang,