Hydrodynamic analysis of piezoelectric microcantilevers vibrating in viscous compressible gases

پویایی تیرهای میکروکنترلر می تواند عمیقا تحت تاثیر غوطه وری در مایعات قرار گیرد. در حالیکه اثرات چسبندگی به طور گسترده ای تصدیق شده است تا تأثیر قوی بر این پویایی داشته باشد، تاثیر فشردگی مایع معمولا نادیده گرفته می شود. در اینجا ما به صورت آزمایشی اثر تحرک هیدرودینامیکی را بر روی یک میکروکنترلر ارتعاشی انعطاف پذیر بررسی می کنیم که در شش گاز قابل فشرده با چسبندگی مختلف قرار دارد. ما دریافتیم که پیش بینی کیفیت عامل از یک مدل ویسکوز توافق خوبی با نتایج آزمایشی در رژیم فرکانس / حالت حالت رزونانس کم دارد، در حالی که اثر فشردگی مایع با افزایش تعداد حالت و فرکانس افزایش می یابد. در مقابل، در همه موارد یافت می شود که فرکانس رزونانس مستقل از فشردگی مایع است، که مطابق با پیش بینی مدل مایع غیر مخرب است.