Air damping as design feature in lateral oscillators

خاموش شدن یک نوسانگر، در کنار جرم مؤثر و سختی، یکی از پارامترهای کلیدی است که پاسخ فرکانس آن و همچنین نویز آن را تعیین می کند. از آنجایی که برنامه های کاربردی متعدد برای نوسانات ریزساختارها وجود دارد، نیازمندی های متعددی برای شکل پیک رزونانس مربوطه وجود دارد. در حالی که ساختن جرم و سختی مناسب برای به دست آوردن یک فرکانس رزونانس مورد نظر، به طور کلی یک کار اساسی است، طراحی یک میکروالکتریک که یک محرک در نظر گرفته شده است، بی اهمیت است. ما یک روش استفاده از هوای اطراف را برای تنظیم مهار غیرفعال یک سیستم میکرو مکانیکی نوسانگر جانبی ارائه می دهیم. این نشان می دهد که در مقایسه با مدل های تحلیلی و شبیه سازی روش حجم محدود با اندازه گیری تعدادی از ساختارهای آزمون میکرو الکترومکانیکی با خواندن نوری، در محدوده نسبتا وسیعتری نگهداری می شود.