کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
7180509 | 1467836 | 2018 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Differential deposition for producing microstructure
ترجمه فارسی عنوان
رسوب دیفرانسیل برای تولید ریزساختار
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
سایر رشته های مهندسی
مهندسی صنعتی و تولید
چکیده انگلیسی
A local processing method based on sputtering deposition for fabricating microstructure is described. Pinholes (Ï50, 100, and 200â¯Î¼m) are used as a shadow mask to narrow the deposition area. The processing properties can be predicted by a simple numerical simulation. Using this method, the fabrication of an arbitrarily curved surface was demonstrated by controlling the position of the deposition area. The spatial frequency of the figured surface was evaluated to be 100â¯Î¼m with nanometer-level thickness controllability. In this paper, we introduce the configuration of the apparatus, experimental results, and a numerical simulation of this method.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Precision Engineering - Volume 52, April 2018, Pages 380-383
Journal: Precision Engineering - Volume 52, April 2018, Pages 380-383
نویسندگان
Hiroto Motoyama, Mitsuru Nagayama, Hidekazu Mimura,