کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
7223689 | 1470562 | 2018 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
MEMS pressure sensor based on optical Fabry-Perot interference
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
سایر رشته های مهندسی
مهندسی (عمومی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: MEMS pressure sensor based on optical Fabry-Perot interference MEMS pressure sensor based on optical Fabry-Perot interference](/preview/png/7223689.png)
چکیده انگلیسی
In this paper, we present a microelectromechanical systems pressure sensor based on Fabry-Perot interference using anodic bonding, and the design principles and basic mechanical model are introduced. It is found that there is a difference between the experimental and theoretical deflections; thus, it is necessary to consider the actual structure. Furthermore, the sensor is fabricated using lithography, etching, and anodic bonding. Within the pressure measurement range of 0-0.1â¯MPa, the linearity is 99.996%, and the sensitivity is 74.6â¯nmâ¯MPa-1. The test results indicate that the deflection is consistent with the theoretical analysis.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Optik - Volume 165, July 2018, Pages 35-40
Journal: Optik - Volume 165, July 2018, Pages 35-40
نویسندگان
Yixian Ge, Kaijie Cai, Tingting Wang, Jiahong Zhang,