کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
7700668 1496804 2018 7 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Preparation and characterization of SiN water-vapor permeation barrier coated by aerosol-type liquid precursor delivery system equipped on a cyclic chemical vapor deposition system
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه شیمی شیمی (عمومی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Preparation and characterization of SiN water-vapor permeation barrier coated by aerosol-type liquid precursor delivery system equipped on a cyclic chemical vapor deposition system
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Organic Electronics - Volume 53, February 2018, Pages 325-331
نویسندگان
, , ,