کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
7833412 1503519 2018 7 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Direct bonding of silicon and quartz glass using VUV/O3 activation and a multistep low-temperature annealing process
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه شیمی شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Direct bonding of silicon and quartz glass using VUV/O3 activation and a multistep low-temperature annealing process
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 453, 30 September 2018, Pages 416-422
نویسندگان
, , , , ,