کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
7834455 1503528 2018 31 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Composition and optical properties tunability of hydrogenated silicon carbonitride thin films deposited by reactive magnetron sputtering
ترجمه فارسی عنوان
ترکیبات و خواص نوری قابلیت تشخیص هیدروژنه سیلیکون کربناتید نوری فیلم های پوشیده شده توسط اسپکترومغناطیسی واکنش پذیر
کلمات کلیدی
فیلم های نازک کربنبرید سیلیکون، اسپکترومغناطیسی مگنترون واکنش پذیر، ساختار، خواص نوری،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه شیمی شیمی تئوریک و عملی
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 444, 30 June 2018, Pages 293-302
نویسندگان
, , , , , , , , , ,