Raman spectroscopic investigation of boron doped hydrogenated amorphous silicon thin films

ما در مورد اثرات رضایت هیدروژنی و دوپینگ بور بر خواص ساختاری فیلم های نازک سیلیکون آمورف تهیه شده توسط پلاسمای افزایش بخار شیمیایی تهیه شده گزارش می کنیم. مطالعات رامان بر روی نمونه هایی که در هر دو غلظت بور و رقت هیدروژن پیش ماده سیلن که در دو دما رشد می کند متفاوت است. تغییرات حالت های نوری و صوتی فونون عرضی برای تعیین تأثیر بور و هیدروژن در نظم کوتاه و متوسط ​​ساختار بلوری آمورف مورد بررسی قرار گرفت. نتایج نشان می دهد که با افزایش رقت هیدروژن و یا دمای رشد، شرایط کوتاه و متوسط ​​می تواند بهبود یابد. با این حال، اثر دمای رشد بر توانایی هیدروژن برای بهبود نظم کوتاه و متوسط ​​می شود با افزایش دمای رشد افزایش می یابد. این به تفکیک گونه های ضعیف باند در دمای بالاتر رشد منجر می شود، که منجر به جذب کمتر هیدروژن می شود. علاوه بر این، برای رقیق سازی ثابت هیدروژن، افزایش دوپینگ بور باعث کاهش در نظم نزدیک به دلیل بازسازی چسبندگی در فیلم نازک می شود. در نهایت، یک رابطه مستقیم بین مقاومت الکتریکی و نظم کوتاه مدت برای نمونه هایی از رقیق شدن هیدروژن متفاوت در دماهای بالاتر رشد دیده می شود.