کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
7910982 1510855 2018 9 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Industrial application of atom probe tomography to semiconductor devices
ترجمه فارسی عنوان
کاربرد صنعتی توموگرافی پروب اتم در دستگاه های نیمه هادی
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد سرامیک و کامپوزیت
پیش نمایش مقاله
کاربرد صنعتی توموگرافی پروب اتم در دستگاه های نیمه هادی
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Scripta Materialia - Volume 148, 15 April 2018, Pages 82-90
نویسندگان
, , , , , , ,