کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
7910982 | 1510855 | 2018 | 9 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Industrial application of atom probe tomography to semiconductor devices
ترجمه فارسی عنوان
کاربرد صنعتی توموگرافی پروب اتم در دستگاه های نیمه هادی
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
سرامیک و کامپوزیت
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Scripta Materialia - Volume 148, 15 April 2018, Pages 82-90
Journal: Scripta Materialia - Volume 148, 15 April 2018, Pages 82-90
نویسندگان
Alexander Devin Giddings, Sebastian Koelling, Yasuo Shimizu, Robert Estivill, Koji Inoue, Wilfried Vandervorst, Wai Kong Yeoh,