کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
7921266 1511746 2018 31 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Evaluation of Cu(Ti) and Cu(Zr) alloys in barrier-less Cu metallization
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد مواد الکترونیکی، نوری و مغناطیسی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Evaluation of Cu(Ti) and Cu(Zr) alloys in barrier-less Cu metallization
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Materials Chemistry and Physics - Volume 217, 15 September 2018, Pages 412-420
نویسندگان
, , , ,