کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
7986457 1515132 2016 17 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Measurement of steep edges and undercuts in confocal microscopy
ترجمه فارسی عنوان
اندازه گیری لبه های شیب دار و پایین انداز در میکروسکوپ پاپوکال
کلمات کلیدی
ترجمه چکیده
میکروسکوپ کانفوکال به طور گسترده ای برای اندازه گیری توپوگرافی سطح نمونه با دقت در محدوده میکرومتر استفاده می شود. عدم قطعیت اندازه گیری و کیفیت داده های به دست آمده از میکروسکوپ پاپوکال بستگی به تأثیرات مختلفی نظیر انحرافات نوری، ارتعاشات تنظیم اندازه گیری و تغییرات بازتابی سطح دارد. در این مقاله، تاثیر لبه های شیب دار و پایین بر روی نتایج اندازه گیری مورد بررسی قرار گرفته است. لبه های تند در سطح نمونه منجر به کاهش سیگنال آشکارساز شده که بر دقت اندازه گیری تاثیر می گذارد و باعث کاهش سطح ناحیه های سطح می شود که در اندازه گیری نمی تواند مورد توجه قرار گیرد. در این مقاله یک روش برای غلبه بر اثرات منفی لبه های شیب دار و پایین افتادن با اندازه گیری چندین سطح با زوایای مختلف بین سطح و محور نوری هدف مورد بررسی قرار می گیرد. یک الگوریتم معرفی شده است که اندازه گیری زاویه های مختلف را با هم بدون آگاهی از موقعیت دقیق و جهت گیری محور چرخش نشان می دهد. بنابراین، عدم قطعیت اندازه گیری ناشی از لبه های شیب دار و پایین کشیدن را می توان بدون مراحل گران قیمت با دقت بالا و تنظیم زمان مصرف تنظیم اندازه گیری اجتناب کرد.
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد دانش مواد (عمومی)
پیش نمایش مقاله
اندازه گیری لبه های شیب دار و پایین انداز در میکروسکوپ پاپوکال
چکیده انگلیسی
Confocal microscopy is widely used to measure the surface topography of specimen with a precision in the micrometer range. The measurement uncertainty and quality of the acquired data of confocal microscopy depends on various effects, such as optical aberrations, vibrations of the measurement setup and variations in the surface reflectivity. In this article, the influence of steep edges and undercuts on measurement results is examined. Steep edges on the specimen's surface lead to a reduced detector signal which influences the measurement accuracy and undercuts cause surface regions, which cannot be captured in a measurement. The article describes a method to overcome the negative effects of steep edges and undercuts by capturing several measurements of the surface with different angles between the surface and the optical axis of the objective. An algorithm is introduced which stitches different angle measurements together without knowledge of the exact position and orientation of the rotation axis. Thus, the measurement uncertainty due to steep edges and undercuts can be avoided without expensive high-precision rotation stages and time consuming adjustment of the measurement setup.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Micron - Volume 84, May 2016, Pages 79-95
نویسندگان
, , , , ,