کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
7986778 | 1515153 | 2014 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Resolution enhancement at a large convergence angle by a delta corrector with a CFEG in a low-accelerating-voltage STEM
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
دانش مواد (عمومی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
Resolution reduction by a diffraction limit becomes severe with an increase in the wavelength of an electron at a relatively low accelerating voltage. For maintaining atomic resolution at a low accelerating voltage, a larger convergence angle with aberration correction is required. The developed aberration corrector, which compensates for higher-order aberration, can expand the uniform phase angle. Sub-angstrom imaging of a Ge [1Â 1Â 2] specimen with a narrow energy spread obtained by a cold field emission gun at 60Â kV was performed using the aberration corrector. We achieved a resolution of 82Â pm for a Ge-Ge dumbbell structure image by high angle annular dark-field imaging.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Micron - Volume 63, August 2014, Pages 35-39
Journal: Micron - Volume 63, August 2014, Pages 35-39
نویسندگان
Hidetaka Sawada, Takeo Sasaki, Fumio Hosokawa, Kazutomo Suenaga,