کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
7987059 | 1515170 | 2013 | 8 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
ESEM modifications to LEO SUPRA 35 VP FESEM
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
دانش مواد (عمومی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
⺠Conversion of a variable pressure (VP-SEM) type machine to an environmental scanning electron microscope (ESEM). ⺠Greatly improved imaging capability in the specified low vacuum (variable pressure) mode by extending the range of working distance possible and accelerating voltage down to a few keV. ⺠Possibility to operate the same instrument with a simple insert at the pole-piece up to a pressure of 1000 Pa. ⺠Further possibility to operate the same machine up to 2000 Pa or more by eliminating the existing diaphragm and use of a small single aperture at the bottom of the pole-piece.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Micron - Volume 44, January 2013, Pages 238-245
Journal: Micron - Volume 44, January 2013, Pages 238-245
نویسندگان
Vassileios Dracopoulos, Gerasimos Danilatos,