کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
7987059 1515170 2013 8 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
ESEM modifications to LEO SUPRA 35 VP FESEM
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد دانش مواد (عمومی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
ESEM modifications to LEO SUPRA 35 VP FESEM
چکیده انگلیسی
► Conversion of a variable pressure (VP-SEM) type machine to an environmental scanning electron microscope (ESEM). ► Greatly improved imaging capability in the specified low vacuum (variable pressure) mode by extending the range of working distance possible and accelerating voltage down to a few keV. ► Possibility to operate the same instrument with a simple insert at the pole-piece up to a pressure of 1000 Pa. ► Further possibility to operate the same machine up to 2000 Pa or more by eliminating the existing diaphragm and use of a small single aperture at the bottom of the pole-piece.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Micron - Volume 44, January 2013, Pages 238-245
نویسندگان
, ,