دانلود رایگان مقاله ISI : هیدروژن پلاسما افزایش لایه اتمی از فیلم های هیدروژنه نشده کربن آمورف کربن

Hydrogen plasma-enhanced atomic layer deposition of hydrogenated amorphous carbon thin films

Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Surface and Coatings Technology - Volume 344, 25 June 2018, Pages 12-20

Taejin Choi, Seungmin Yeo, Jeong-Gyu Song, Seunggi Seo, Byeonghyeon Jang, Soo-Hyun Kim, Hyungjun Kim,