کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
8023903 | 1517540 | 2018 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Kinetics and crystal texture improvements on thin germanium layers obtained by aluminium induced crystallization using oxygen plasma
ترجمه فارسی عنوان
افزایش سینتیک و بافت بلوری در لایه های نازک ژرمانیوم به دست آمده از طریق بلورینگی ناشی از آلومینیوم با استفاده از پلاسما اکسیژن
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
کریستالیزاسیون فلزی، ژرمانیوم، اکسیداسیون پلاسما، نرخ کریستالیزاسیون،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
چکیده انگلیسی
The fabrication of strongly-textured thin crystalline germanium layers on amorphous silica substrates can be achieved by aluminium induced crystallization using the 'aluminium induced layer exchange' mechanism. This requires a diffusion barrier, or interlayer, between the Al and Ge layers with a specific chemistry. We investigate here the effect of oxygen plasma on this interlayer as an alternative route to the standard air-exposure process. We find that the plasma treatment strongly slows down the kinetics of the crystallization. This can be compensated by a higher process temperature, after which the defect density becomes similar to that of air-oxidized but with defects of smaller size. This substantially improves the overall texture of the Ge layer and a near complete (111) orientation is obtained.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Surface and Coatings Technology - Volume 343, 15 June 2018, Pages 121-126
Journal: Surface and Coatings Technology - Volume 343, 15 June 2018, Pages 121-126
نویسندگان
D. Pelati, O. Mauguin, L. Largeau, F. Brisset, F. Glas, F. Oehler,