کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
8024707 | 1517549 | 2018 | 7 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Investigation of composition of boron carbide thin films by resonant soft x-ray reflectivity
ترجمه فارسی عنوان
بررسی ترکیب لاک های نازک کاربید بور با استفاده از منعکس کننده اشعه ایکس نرم با رزونانس
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
کاربید بور، شاخص نوری، ترکیب بندی، لایه محافظ، چند لایه اشعه ایکس، بازتابنده رزونانس،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
چکیده انگلیسی
Boron carbide thin films of different thicknesses deposited by ion beam sputtering were studied. The deposited films were characterized by grazing incidence hard x-ray reflectivity (GIXR), resonant soft x-ray reflectivity (RSXR), x-ray photo electron spectroscopy (XPS), resonant Rutherford backscattering spectrometry (RRBS), and time of flight secondary ion mass spectrometry (TOF-SIMS). Depth profile of the chemical elements constitute the films is reconstructed based on analysis of reflectivity curves measured in the vicinity of B K-edge. The composition of films is closely dependent on film thickness. Boron to Carbon (B/C) ratio reaches to ~Â 4 as the thickness of deposited films increases. The B/C ratio estimated from RSXR measurements are in agreement with the RRBS measurements. TOF-SIMS data also suggested that decrease in boron content with decrease in film thickness. XPS measurements confirm the presence of little amount of B atoms on the surface of low thickness film.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Surface and Coatings Technology - Volume 334, 25 January 2018, Pages 536-542
Journal: Surface and Coatings Technology - Volume 334, 25 January 2018, Pages 536-542
نویسندگان
P.N. Rao, R.K. Gupta, K. Saravanan, A. Bose, S.C. Joshi, T. Ganguli, S.K. Rai,