کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
8029411 | 1517646 | 2013 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Effects of laser power on the growth of polycrystalline AlN films by laser chemical vapor deposition method
ترجمه فارسی عنوان
اثرات قدرت لیزر بر رشد فیلم های آلن پلی کریستالی توسط روش لیزر شیمیایی با استفاده از بخار
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
چکیده انگلیسی
Polycrystalline aluminum nitride (AlN) films were prepared by laser chemical vapor deposition method using aluminum acetylacetonate and ammonia as source materials. The effects of deposition conditions on the crystal phase, composition and microstructure were investigated. Polycrystalline AlN films were prepared at a laser power above 100Â W and a deposition temperature above 803Â K. The microstructure of AlN film changed from aggregated grains to faceted grains to pyramidal grains with increasing laser power and with decreasing total pressure.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Surface and Coatings Technology - Volume 232, 15 October 2013, Pages 1-5
Journal: Surface and Coatings Technology - Volume 232, 15 October 2013, Pages 1-5
نویسندگان
Yu You, Akihiko Ito, Rong Tu, Takashi Goto,