کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
8030339 | 1517663 | 2013 | 9 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
SiC coatings grown by liquid injection chemical vapor deposition using single source metal-organic precursors
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: SiC coatings grown by liquid injection chemical vapor deposition using single source metal-organic precursors SiC coatings grown by liquid injection chemical vapor deposition using single source metal-organic precursors](/preview/png/8030339.png)
چکیده انگلیسی
⺠An original DLICVD process for the growth of a-SiC:H coatings ⺠High growth rate of amorphous SiC using single-source precursors ⺠Influence of toluene vapor in CVD of SiC.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Surface and Coatings Technology - Volume 215, 25 January 2013, Pages 152-160
Journal: Surface and Coatings Technology - Volume 215, 25 January 2013, Pages 152-160
نویسندگان
G. Boisselier, F. Maury, F. Schuster,