کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
8030498 | 1517663 | 2013 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Oxygen plasma etching of diamond-like carbon coated mold-die for micro-texturing
ترجمه فارسی عنوان
اکسایش اکسیژن پلاسما از الماس مانند کربن پوشش داده قالب برای قالب گیری میکرو
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
چکیده انگلیسی
⺠High density RF-DC plasma etching allows us to widen large pressure range. ⺠Plasma diagnosis is equipped with the oxygen etching system. ⺠Fast etching rate is attained by 5 μm/h. ⺠Micro-grooves are homogeneously etched onto DLC coating.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Surface and Coatings Technology - Volume 215, 25 January 2013, Pages 364-368
Journal: Surface and Coatings Technology - Volume 215, 25 January 2013, Pages 364-368
نویسندگان
Tatsuhiko Aizawa, Tatsuya Fukuda,