کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
8037626 | 1518285 | 2018 | 7 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Thermal nanometrology using piezoresistive SThM probes with metallic tips
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
In this paper we present design and application of novel piezoresistive scanning thermal microscopy (SThM) probes. The proposed probe integrates a piezoresistive deflection sensor and thermally active, resistive nanosize tip. Manufacturing technology includes standard silicon MEMS/CMOS processing and sophisticated postprocessing using Focus Ion Beam milling. Authors also describe dedicated measurement technique in order to perform quantitative nanoscale thermal probing. Performance of the developed thermal probes is validated by test scans (topography and temperature distribution) of silicon nanoresistors supplied with current.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Ultramicroscopy - Volume 193, October 2018, Pages 104-110
Journal: Ultramicroscopy - Volume 193, October 2018, Pages 104-110
نویسندگان
PaweÅ Janus, Andrzej Sierakowski, Maciej Rudek, Piotr Kunicki, Andrzej Dzierka, PaweÅ Biczysko, Teodor Gotszalk,