کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
8037996 | 1518319 | 2016 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Design and implementation of a micron-sized electron column fabricated by focused ion beam milling
ترجمه فارسی عنوان
طراحی و پیاده سازی یک ستون الکترونی با میکروسکوپ ساخته شده توسط فرزکاری تراکم یونی متمرکز
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
اپتیک الکترونی الکترونهای کم انرژی، تصویربرداری، پراش متقابل، لنز الکترونی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
چکیده انگلیسی
We have designed, fabricated and tested a micron-sized electron column with an overall length of about 700 microns comprising two electron lenses; a micro-lens with a minimal bore of 1 micron followed by a second lens with a bore of up to 50 microns in diameter to shape a coherent low-energy electron wave front. The design criteria follow the notion of scaling down source size, lens-dimensions and kinetic electron energy for minimizing spherical aberrations to ensure a parallel coherent electron wave front. All lens apertures have been milled employing a focused ion beam and could thus be precisely aligned within a tolerance of about 300Â nm from the optical axis. Experimentally, the final column shapes a quasi-planar wave front with a minimal full divergence angle of 4Â mrad and electron energies as low as 100Â eV.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Ultramicroscopy - Volume 160, January 2016, Pages 74-79
Journal: Ultramicroscopy - Volume 160, January 2016, Pages 74-79
نویسندگان
Flavio Wicki, Jean-Nicolas Longchamp, Conrad Escher, Hans-Werner Fink,