کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
8038076 | 1518321 | 2015 | 9 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Combination of high spatial resolution and low minimum detection limit using thinned specimens in cutting-edge electron probe microanalysis
ترجمه فارسی عنوان
ترکیبی از رزولوشن فضایی بالا و حد پایین تشخیص کم با استفاده از نمونه های نازک در میکروآنالیز پروب الکترونیک برش لبه
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
طیف سنجی اشعه ایکس اشعه ماوراء بنفش، اشعه ماوراء بنفش اشعه ماوراء بنفش میکروآنالیز پروب الکترونی، حداقل حد تشخیص، زمین انتشار،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
چکیده انگلیسی
The effect of sample thickness on the spatial resolution and minimum detection limit (MDL) has been investigated for field-emission electron probe microanalysis with wavelength dispersive X-ray spectroscopy (FE-EPMA-WDX). Indium gallium phosphide samples thinned to thicknesses of about 100, 130, 210, 310, and 430Â nm provided effective thin-sample FE-EPMA-WDX in the resolution range of 40-350Â nm and MDL range of 13,000-600Â ppm (mass). A comparison of the FE-EPMA results for thin and bulk samples demonstrated that thin-sample FE-EPMA can achieve both higher sensitivity and better spatial resolution than is possible using bulk samples. Most of the X-rays that determine the MDL are generated in a surface region of the sample with a depth of approximately 300Â nm. The spatial resolution and MDL can be tuned by the sample thickness. Furthermore, analysis of small amounts of Cl in SiO2 indicated that thin-sample FE-EPMA can realize a spatial resolution and MDL of 41Â nm and 446Â ppm at Iprob=50Â nA, respectively, whereas bulk-sample FE-EPMA offers a resolution of only 348Â nm and MDL of 426Â ppm.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Ultramicroscopy - Volume 157, October 2015, Pages 48-56
Journal: Ultramicroscopy - Volume 157, October 2015, Pages 48-56
نویسندگان
Yugo Kubo, Kotaro Hamada,